Key Capabilities
- 歩留まり予測＆最適化
プロセスパラメータ、設備状態、環境条件に基づく歩留まり予測モデル。
- クリーンルーム環境制御
温度、湿度、パーティクル等の環境パラメータが製品歩留まりに与える影響をリアルタイム監視・最適化します。
半導体ファブのAI駆動運用
FactVerse AI AgentはISO 14644-1リアルタイム準拠監視、HEPAフィルター寿命予測、SMTラインOEEシミュレーションを提供します。
導入効果
| 指標 | 効果 |
|---|---|
| ISO違反 | ↓ 90% |
| 計画フィルター交換 | ↑ 95% |
| SMT OEE | ↑ 8–15% |
| 冷却エネルギー | ↓ 12–20% |
よくある質問
AI Agentはプロセス非依存です。ウェハ製造、パッケージング、組立に展開されています。