Key Capabilities
- クリーンルームデジタルツイン
クリーンルーム環境の3Dデジタルツインを構築し、温度、湿度、パーティクル、気流をリアルタイム監視します。
- 歩留まり分析＆最適化
AI Agentがプロセスパラメータと歩留まりの因果関係を分析し、最適化戦略を推奨します。
半導体製造のデジタル運用
FactVerseプラットフォームはデジタルツインとAI Agentにより、クリーンルーム準拠監視、設備予知保全、ライン最適化を実現します。
主要な用途
- クリーンルーム監視 — ISO 14644-1リアルタイム準拠
- 設備保全 — HEPAフィルター寿命予測
- ライン最適化 — SMTラインOEEシミュレーション
よくある質問
AI Agentはプロセス非依存で、成熟ノードから先端プロセスまであらゆる半導体製造環境に適用可能です。